微觀儀器成立于2007年，現(xiàn)位于東莞松山湖科技產(chǎn)業(yè)園。是華科工研院在半導(dǎo)體領(lǐng) 域的產(chǎn)業(yè)化公司。微觀科學(xué)專注于半導(dǎo)體微觀領(lǐng)域，致力于打造檢查、量測(cè)、分析一站式綜合服務(wù)平臺(tái)，并提供半導(dǎo)體制程設(shè)備、工藝和材料的綜 合解決方案。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微納加工、航空航天、電子制造等領(lǐng)域。

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